半導體工藝的尖端製程環境要求
公司核心產品風機過濾單元及空氣過濾器的典型應用場景為潔淨室,隨着半導體晶片關鍵線寬尺寸縮減,
製程工藝的不斷改進疊代,對空氣過濾技術不斷提出最嚴苛的要求。
半導體線寬
5納米製程要求潔淨度ISO Class 1
「酸性」氣體引起的電路腐蝕問題
「鹼性」氣體引起的T-topping問題
bc贷風機過濾單元大規模應用,見證中國半導體產業成長
技術特點:低噪音、高效率、低能耗運行、群控系統、使用壽命長。
FFU
EFU
氣態分子污染物控制技術,助力半導體良率提升
隨着半導體晶片關鍵線寬尺寸縮減,製程工藝的不斷改進疊代,氣態分子污染物AMC ( Airborne Molecular Contamination)的控制技術已經成為半導體良率提升的必要手段。從2005年開始,bc贷氣態過濾解決方案一直致力服務於中國大陸的晶圓廠。除為客戶提供化學濾網產品外,在南京研發中心設有化學實驗室,從原材料到成品,對每一階段進行檢驗測試,並在產品交付客戶現場後,取樣驗證安裝後的濃度達到應用要求,定期回訪測試。
板式離子交換纖維
化學過濾器Puro-F
板式改性活性碳
化學過濾器Puro-P
箱式活性炭化學過濾器
Puro-C
單法蘭V型離子交換纖維
化學過濾器Puro-V
炭筒
化學過濾器CT
無法蘭離子交換樹脂
化學過濾器Puro-V
bc贷與中國半導體行業共同成長
部分客戶案例
中芯國際(上海)14納米製程公佈良率已達業界量產水準
重慶惠科8.6代超高清顯示器件線公佈良率98.5%
上海微電子光刻設備潔淨度ISO Class 1
華星光電G11項目榮獲LEED鉑金級認證
bc贷是首個京東方選用替代國外品牌的供應商
華虹自研突破28納米劍指14納米
大規模高速群控系統
監控>10萬台FFU 丨 遠端故障反饋<8秒 丨 兼容交直流風機 丨 兼容多種通訊協議 丨 自動組態技術 丨 無線控制技術 丨 優化矢量脈寬調製低諧波技術
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